檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "技術".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="微影製程"
個人化服務 :
排序:
每頁筆數:
已勾選0筆資料
1
由於極紫外光微影系統技術開發上仍有困難,無法立即取代現有生產線上ArF-193nm浸潤式微影系統微影製程生產,因此吸引許多研究者尋找改善方案,其中可利用光源光罩最佳化程序搜尋最佳的光罩圖案設計與對應…